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DJ MicroLaminatesドライフィルム、ADEX SUEX

SUEX®
DJ MicroLaminatesのSUEX™エポキシレジスト・ライン – 厚膜ドライフィルム・シート(TDFS) – は100μm〜500μmの厚み範囲で使用可能で、アンチモンを含まない光酸発生剤(PAG)を利用したカチオン硬化、 。同社は、保護ポリエステル(PET)フィルムの2つの廃棄層の間に均一なレジストコーティングを提供する、高度に制御された無溶媒プロセスを有する。
パターニングは、UV及びX線リソグラフィ又はこれらの2つの組み合わせ、又はリソグラフィ及びホットエンボスにより可能である。これにより、多レベルの複雑な設計ならびに高アスペクト比MEMS構成要素の製造が可能になる。
DJ MicroLaminatesは、MEMS、メタル・マイクロ部品のメッキ・モールド、ポリマーMEMS、多層マイクロ流体構造、BioMEMS、医療機器、ウェーハ・レベル・パッケージング、パッシブ・デバイス、ディスプレイなど、幅広いアプリケーションのプロセスを最適化することに注力しています。

ADEX™
DJ MicroLaminatesは、SUEXと同様の特性と特徴を持つADEX™薄膜ドライフィルムシート(TDFS)とロールを供給しています。我々は、5μm〜75μmの厚さ範囲を提供する。
ADEX™は、高性能の化学増幅型Iラインネガティブドライフィルムです。優れた分解能と性能を備えています。それは攻撃的な環境で優れた耐熱性と耐薬品性を示します。

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