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顕微鏡で拡大観察、元素分析まで可能なone-stopソリューション

DM6M LIBSのレーザープラズマ分光機能により、顕微鏡で拡大観察中の微細構造の化学組成をその場で、高速に同定することができます。微細構造部分を見つけたら、ワンクリックでLIBS分析を開始できます。

特長
  • 電子顕微鏡を用いる従来の手法に比べて、化学分析の時間を90%節減できます。
  • 視覚、化学情報の双方に基づき、迅速な意思決定ができます。
試料作製不要で分析

DM6M LIBSソリューションは、従来の分析に比較して、以下のステップが不要になり、90%時間が節約できます。
  • 試料作製と装置間の移動
  • システムセットアップ、調整
  • 関心領域(ROI)の再探索
  • シンプルなワークフロー
1台のシステムで観察と分析が可能になり、結果の分析に集中することができます。

決断を早く

試料の微細構造の組成分析のためのツールを結合することで、正しい意思決定が迅速にできます。
全体の90%以上のケースで、次のアクションを迅速・確実に決定(たとえば汚染源の特定のためSEMによる詳細分析が必要)するのに十分なデータが得られています。

成分の清浄度解析

DM6M LIBSシステムにコンタミ解析用ソフトウェア Cleanliness Expertを組み合わせて、フィルター上試料の目視検査と化学試験を1システム、1つのワークフローで実行することができます。コンタミ源の同定、検出が容易になります。
より確信のおける結果を
粒子組成と構造の両データを迅速に得ることで、分析中に同定、次のアクション決定を迅速に行うことができます。

微細構造の成分の評価

DM6M LIBSソリューションでは材料の相、たとえば鉱物、合金、セラミックスなどの構造解析と元素/化学分析の両方を行うことができます。
従来の試料作製や装置間の移動は必要ありません。解析ワークフロー全体が1つの装置で実行されます。
試料作製の手間を最小限に
SEM(走査型電子顕微鏡)/ EDS(エネルギー分散型X線分析)分析を最小限に抑えることで、時間とコストを共に節約できます。

材料の深さ方向と層構造分析

LIBSのアブレーション原理を利用して材料への微小穿孔も可能です。
微小穿孔には次のような応用例があります。
  • 深度プロファイルの作成
  • 層構造分析
  • 表面洗浄
深度プロファイルを用いて、各層の組成変化を推定することができます。
層構造分析は材料内の各層の組成分布を推定することができます。層構造を持つ材料の例としては、多層コーティングあるいは塗装した金属が挙げられます。
表面洗浄は酸化物や汚染物を除去するのに用いられます。

ライカ DM6M 金属顕微鏡
  • 25×~100×の幅広い対物レンズ倍率による観察
  • 各種観察方法により材料の微小構造も正確に可視化
  • 全自動操作で、どなたでも簡単、精度高く分析を実行できる自由度の高さ

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