真空熱処理炉、断熱真空、真空成膜装置、食品真空プロセス装置…など、様々な真空プロセスにおいて、真空度だけでなく真空中のガス成分を監視すれば装置の健康状態が良く分かる。例えば真空リークが有る、不純物の混入で予期せぬガス成分が多い、内部で水漏れが有るなど、見過ごせば重大な製造品質事故を起こすような装置の異常も、ガス成分の変化で素早く知ることができる。

VISTA株式会社が開発したSC–10残留ガス分圧真空計は、ガス成分分圧と全圧（真空度）の両方を測れる全く新しい方式の自動真空計。全圧は大気圧から、ガス成分は約50Pa以下で計測が可能。ガス成分測定は圧力に応じて自動的にON／OFFするので、電源を入れておけばあとはお任せで操作は一切必要ない。従来は不可能であった低真空領域でのガス成分計測やリークチェックができる。光を使用した測定なのでタフな環境でも使用でき、クリーニングメンテナンスもユーザー自身で可能。データはパソコンに自動保存される。ネットワークに繋いでIoT化も可能。