イールドの向上に貢献
半導体関連を中心とした洗浄装置の設計・製作に実績を持つコンタクト。
中でも全自動半導体容器洗浄システムは、洗浄・乾燥能力はもとより、初期投資からランニングコストまでのCOO、納入、設置の容易さまで追求した製品として高い評価を得ている。
チャンバー形状の工夫によりSEMIスタンダードに対応し、全てのFOUP洗浄が可能。AMHS対応のため、全自動化ラインへの設置も可能であり、投資効率の向上と高度な洗浄を同時に実現できる。
また、同社では有機汚染対策用FOUP汚染検査装置「APA」、CVDクリーニングガス用終点検知システム「トレースライト」等も展開。多分野に向けて製品を提供している。
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