めっきの皮膜特性と電流密度分布、めっき液の循環を考慮した特殊な水槽と治具で構成。
フィルターで常時ろ過を行いながら使用する。
専用のパドルとシリコンウェハ専用のカートリッジが付属。
ウェハ用めっき装置として10年以上の実績があり、多数の特許を取得。
治具一つからの特注対応も可能。
・・・・・

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