タイヨー電機がシリーズで展開する欠陥検査装置。
「速く、広く、詳細に」がテーマのレーザーによる表面検査の新しいカタチとして定評を得ている。
高速広視野欠陥検査装置LDWS01は、300mm幅において10μmの欠陥検出が可能で、二次電池などに使用される金属や高機能フィルムのキズ・クラックに対応。
30mm幅において1μmの欠陥を検出可能な高精細欠陥検査装置LDCS01は、ガラス・水晶などの光学素材の欠陥検出が可能。
その他、100mm幅において10μmピッチで1μmの高さ分解能を有するレーザー光学系を用いた表面形状欠陥検査装置など、微弱な凹凸、検査対象物と同色の欠陥、光沢素材表面の欠陥など、CCDカメラが苦手とする検出にも対応できる製品を展開している。
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