化学的薄膜形成技術の実用化を目指して事業展開しているSPD研究所(静岡県浜松市)。
同社が提供する卓上SPD薄膜形成装置「KM-25」が産業界から注目を集めている。
同装置は、噴霧熱分解薄膜形成(SPD)法により大気中で短時間、かつ低価格にて、均一な薄膜形成ができる。
小型で軽量化に成功し、卓上での製膜を可能にした。
また、噴霧液滴の粒径可変や噴霧ノズル~基板距離の調節ができる上、テフロン加工による反応室の腐食防止化、自動運転も可能という。
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