トレンチなどの複雑な構造体に有効Picosun社(フィンランド)のALD装置【アルテック株式会社 先端機器営業部】 admin 2014年2月20日 トレンチなどの複雑な構造体に有効Picosun社(フィンランド)のALD装置【アルテック株式会社 先端機器営業部】2014-07-15T17:00:27+09:00 日経産業新聞、海外発!注目の技術・製品・サービス 新聞掲載情報