「顕微鏡画像に隠された情報を引き出し、分かりやすく伝える」をコンセプトに最新技術を駆使して製品を開発しています。
小さな試料の内部に潜む粒子の状態、歪みの有無、三次元構造なども、明瞭に描出します。大学や研究機関を中心に国内外300以上のお客様に利用され、多くの論文にも取り上げられています。
また、様々な機関との共同研究にも積極的に取り組み、その成果を製品の高機能化や新たなアプリケーション開発にフィードバッグしています。さらに、定期的なセミナー、ユーザーズミーティングも開催されています。
 

TEM画像三次元構築システム「TEMography」

TEM試料を自動で傾斜しながら画像を撮影し、三次元データとして構築するシステムです。コンピュータ上に三次元データとして格納されているため、任意の角度や倍率で観察したり、任意の面でスライスした画像等を表示させることができます。高速なレンダリングソフトとあいまって、簡単に、迅速に、かつ高精度で観察できる点を特長としています。

Recorder(レコーダー)
Recorderは、TEMographyにおける三次元再構成に必要な連続傾斜像の撮影を高精度に行なうソフトウェアです。TEM、STEM両モードにおいて完全な自動化を実現し、生物系や材料系などの、あらゆる試料に対応可能な機能を備えています。そのシンプルな操作性と動作の確実性から、そのシンプルな操作性と動作の確実性から、国内外250箇所以上のお客様からご好評を得ております。
tem01
  1. 連続傾斜像撮影の支援機能
    試料傾斜時の位置ずれの補正やフォーカスの維持など、特有の問題に対処するアルゴリズムが備わっています。また、マニュアル操作による微調整も行えますので、お客様のお望みの画像での連続傾斜像の撮影が可能です。TEM、STEMモードで同一のユーザインターフェースを使用し、シンプルにまとめました。
  2. 複数メーカーのCCDカメラに対応
    各CCDカメラ毎に異なる操作をRecorderが吸収するため、一貫したオペレーションが可能となって います。Recorderを通じて、TEMおよびCCDカメラの一元的な制御を行ないます。これにより、 視野中の目標物の決定や撮影条件の設定など複数のアプリケーションにまたがる煩雑な操作がRecorder のみで完結します。
  3. EDSトモグラフィへのアプローチ
    ご要望の多かった複数のマッピング像に対する連続傾斜像の自動撮影が可能です。
  4. クライオトモグラフィの強化
    予想位置制御、自動ユーセントリック、0°スタートなど、クライオ試料を撮影するためのオプションが充実しています。1度しかないチャンスを無駄にしません。
Composer(コンポーザー)
Composerは、透過型電子顕微鏡で撮影された連続傾斜像を元に三次元再構成を行うソフトウェアです。三次元再構成へのステップを5つのシンプルなグループにまとめました。アライメント、再構成(FBP/SIRT) を素早く、簡単に行うことが可能です。
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  1. 豊富な入力画像フォーマット
    各社の自動撮影ソフトウェアで撮影された連続傾斜像を読み込むことが可能です。
  2. 強力なアライメント機能
    1) マーカーが不要
    マーカーの無い連続傾斜像に対してもアライメントを行なうことが可能です。
    2) 高精度なアライメント
    マーカーを積極的に利用すると、より高精度なアライメントを行なうことが可能です。この他、各種画像フィルタや操作性を重視したマニュアルモードなど、豊富なアライメントツールが用意されております。多様なコンディションの連続傾斜像に対して、Composer は確実にアライメントを行なうことが可能です。
  3. 再構成
    1) 再構成の選択
    連続傾斜像の撮影条件、作成する三次元データの利用目的に合わせて、FBP、SIRT の2種類の再構成法を選択することが可能です。
    2) 高速、高効率な再構成演算
    マルチスレッドプログラミングにより、再構成演算を高速、高効率に実行します。
    3) 再構成テストモード
    1断面の再構成を行ないます。設定したパラメータの効果を確認するのに便利です。
    4) 再構成結果の微調整
    再構成結果を回転させたい、必要な深さだけ再構成を行ないたいなど、出力される3次元データへのカスタマイズを行うことが可能です。
  4. その他の機能
    1) 撮影情報の確認
    2) 各種画像ファイルへの変換
    3) スライドショーのムービー作成
    4) 側長機能
Visualizer-kai(ビジュアライザー改)
Visualizer-kai は、Visualizer のリリース以降の約4年間、国内・海外のお客様からのご意見、ご要望をフィードバックさせた新製品です。
Visualizer-kai は、Composer にて3次元再構成したデータを可視化する際に、特別なレンダリングボードが無くても、3次元情報を高速かつ高画質に表現することが可能です。
3D表示を拡大縮小するだけでなく、スライス面の表示やサーフェイス表示、測長機能、さらに複数の3Dデータの読み込みなど、様々な機能をマウスにより簡単に操作することが可能です。

 

u-inspector

ImageExcite
ImageExciteは、従来、エンジニアがTEM画像を見て手作業で行っていた測長や画像解析を簡単な操作で実施できるように支援するシステムです。一般的な画像解析ソフトウエアと比較して、主要な解析機能がシンプル、かつ、スムーズに行えることを特長としています。

測長
  • 簡単な自動/手動測長
    全ての操作がマウスのドラッグ&ドロップで簡単に行えます。測長の方法としてマウス操作による「手動ライン測長」と指定されたライン内においてエッジ検出アルゴリズムによる「自動測長」を提供しています。
  • 自動測長
    検出アルゴリズムのパラメータを変更することにより、検出精度を調整することが可能です。
  • 補助機能
    クロスラインを表示することが出来ます(マウスのリリースポイントの指標として利用できます)。また、SHIFTキーを押しながらマウスを操作すると45/90度の固定角でラバーバンドが移動します(水平/垂直の測長を行う場合に利用出来ます)。
  • プロファイル
    測長したライン上の輝度プロファイル及びエッジプロファイルを表示することができます。また、表示中のプロファイル上で波形を参考にしながら測長の開始点/終了点を編集することが可能です。画像上に輝度プロファイル及びエッジプロファイルを表示することができます。輝度の変化量がグラフで表示されますので手動測長の指標として利用できます。
  • まとめて測長
    画像内の指定範囲内をまとめて測長することも出来ます。下記の図に示す様に、ある形状測長を行うときにマウス操作により測長開始点と終了点をそれぞれ矩形領域で指定し、その領域内でエッジ検出を行い広範囲の測長を行うことができます。また、測長点数及び測定間隔を任意に設定することが可能です。
  • CSV出力
    測長した結果を一覧表として表示することが出来ます。この結果より度数分布表を作成し、ヒストグラムとしてグラフ表示することが出来ます。また、この結果はCSVファイルフォーマットにて出力することも可能です。他の表計算ソフトにて解析を容易に行うことができます。
  • 角度計測
    任意の角度を計測することができます。角度の計測方法として「3点モード」(2点目を頂点とした始点・終点からなる角度の計測)と「2本線モード」(2本のラインが交差する点を頂点として1本目の線の開始点と2本目の線の終点からなる角度の計測)を提供しています。
画像編集
簡単な画像編集機能を提供しています。
  • 回転補正
    プレビューにて確認することができます。
  • 階調補正
    プレビューにて確認することができます。
  • 疑似カラー
    グレースケール像を疑似カラーで表示することによって低い輝度でしか現れなかった特徴等を効率よく見分けることが可能になります。
  • Report
    コメントや矢印、楕円等を直接画像にレタリングすることができます。
印刷機能として、簡易レポートツールを提供しています。このツールを利用することにより、下図の様な簡単なレポートであれば、作業の流れの中で作成できます。また、表示中の画像及びグラフはすべてクリップボードにコピーできますので他のアプリケーションへ簡単にコピーすることができます。

SEMsupporter
SEMsupporterはサンプルを観察する時の作成、画像解析といったルーティンワークを効率よく行う為のソフトウエアです。

座標リンク
  1. 光学顕微鏡で撮影された画像を使ってステージを移動する事ができます。
  2. 光学顕微鏡に取り付けたビデオ映像のキャプチャ機能を装備しています。
モンタージュ
  1. 位置ずれオート補正
    ・高倍率のSEM像を格子状に撮影し、つなぎ合わせて表示する事ができます。
    ・連続撮影時に画像の重なり領域を設ける事によって画像の位置ずれを計算し補正を行います。これにより精度の高い観察領域全体画像の生成ができるようになりました。
  2. 撮影フロー
    ・低倍率画像は複数の組み合わせができます。
    ・観察領域は複数の登録ができます。
    ・撮影時、撮影終了予定時間が表示されます。
  3. ステージ回転サポート
    ・画像上で指定した直線が水平/垂直になるようにステージを回転することができます。
  4. 観察領域全体画像の表示/保存
    ・連続撮影後、観察領域全体画像を自動的に作成します。また個々の撮影画像も保持されます。
    ・撮影領域全体を表示ツールにて確認することができます。
    ・全体像を画像ファイルとして保存することができます。
  5. レビューサポート
    ・観察領域全体画像より撮影毎の画像を選択することができます。撮影条件も表示されます。
    ・ステージ位置を撮影時の位置に移動することができます。
  6. マウス操作
    ・マウスのスクロールボタンを操作することにより、ズームアップ/ズームダウンがスムーズに動作できます。
    ・ズームアップ後の表示位置移動も滑らかに表示することができます。
  7. 表示関連
    ・ミニマップで現在表示中の位置を確認することができます。
    ・ミクロンバーを表示することができます。
ウェハ定点観察
  1. 観察位置をチップ毎に登録することができます。
  2. 観察点を自動的に連続で撮影します。
  3. 観察位置を保存することによってサンプルレビューを簡単に再現できます。
  4. サンプルを交換してもアライメント機能により撮影位置を再計算します。
ウェハ欠陥検査レビュー
  1. 欠陥検査装置の結果ファイルに対応しています。
  2. リモートホスト上のファイルを直接オープンすることができます。
欠陥検査レビュー
  1. アライメント
    ・チップアライメントの登録ができます。
    ・欠陥点毎のオフセット登録ができます。
  2. 欠陥リスト
    ・欠陥検査結果ファイルに登録されている欠陥点を一覧表示できます。
    ・任意の欠陥点へステージを移動することができます。
    ・欠陥属性によるソーティング、フィルタリングを実装しています。
  3. 連続撮影&画像転送
    ・欠陥点を連続で自動撮影します。
    ・撮影画像を一括でYMSに転送します。
RegionAdviser
RegionAdviserはTEMやSEMで撮影された画像中の粒子を手動/自動で抽出し、解析/計測を行うソフトウェアです。

複数の画像ファイルフォーマットに対応
画像フォーマットは、BMP/JPEG(JPEG 2000形式含)/TIF/PNG/RAS

自動倍率校正
画像ファイルと同時に出力される撮影情報ファイルを自動認識し倍率の自動キャリブレーションを行います。撮影条件(倍率/WD/加速電圧/機種)毎に倍率校正の係数を設定することが可能です。

粒形解析
自動で粒子(領域)を抽出するモードと手動で粒子(領域)を指定するモードを選択できます。

レタリング
画像ファイル中にコメントや図形(最大長/矩形/フェレ系/円/近隣粒子/計測結果)を描画できます。

解析結果の出力
粒子解析結果をCSV形式のファイルに保存することが出来ます。また、複数枚分の結果を一つのCSVにまとめて保存することも出来ます。解析結果を一覧表で確認できます。表示項目をカスタマイズすることも可能です。解析項目(円相当径/面積/真円度/水平・垂直フェレ系/輝度(最少・最大・平均・標準偏差)/周囲長/最大長・幅/重心etc)

統計結果
解析項目毎の統計結果を一覧表で確認できます。統計目もカスタマイズすることも可能です。

画像処理
「階調補正」、「回転補正」等の画像編集をプレビューで確認することが出来ます。
グレースケール像を「疑似カラー」で表示することによって低い輝度でしか現れなかった特徴等を効率よく見分けることが可能になります。

レシピ
いつも同じような操作手順で粒子解析を行っている場合、レシピ機能を使うことによって複数の画像ファイルを一括で粒子解析を行うことが出来ます。

 

コチラのページをご覧の方は他にも「画像処理」といったキーワードで検索を行っています。

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